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SJ6000機(jī)床激光干涉儀對機(jī)床運(yùn)動導(dǎo)軌和滾珠絲桿的各項(xiàng)參數(shù)檢測分析、校準(zhǔn)補(bǔ)償具有重要性，而機(jī)床在裝配、加工、生產(chǎn)的同時需要頻繁的使用到激光干涉儀，來進(jìn)行多種幾何量精度參數(shù)的測量以及動態(tài)性能的測試、分析。

SJ6000精密測量激光干涉儀測量過程全自動化，效率高，具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)。可測量任意方向的回轉(zhuǎn)軸，可測量任意角度間隔，通用性強(qiáng)；可自動生成誤差曲線和補(bǔ)償數(shù)據(jù)，根據(jù)不同標(biāo)準(zhǔn)自動計(jì)算定位精度結(jié)果，無需人工計(jì)算。

GTS激光測量跟蹤儀能檢測出各部件行走精度，比如機(jī)床導(dǎo)軌直線度，轉(zhuǎn)臺軸向，相互垂直度，徑向跳動等。實(shí)際加工過程中可以使用激光跟蹤儀實(shí)測被加工零件尺寸，以此做為機(jī)床加工進(jìn)給量的依據(jù)，此時激光跟蹤儀由檢測設(shè)備轉(zhuǎn)變?yōu)楣に囋O(shè)備，用于制造機(jī)床加工。

SJ6000機(jī)床激光干涉儀品牌除了環(huán)境適應(yīng)能力好，還可以進(jìn)行動態(tài)高速測量，選配相應(yīng)的功能模塊元件后可以測量振動幅度、平面度、線速度、角速度等。結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在動態(tài)測量軟件配合下，可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析，如振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動

GTS激光三坐標(biāo)跟蹤儀是基于球坐標(biāo)系的便攜式坐標(biāo)測量系統(tǒng)，具有高精度、效率高、實(shí)時跟蹤測量、安裝快捷、操作簡便等特點(diǎn)，適合于大尺寸工件配裝測量。能檢測出各部件行走精度，比如機(jī)床導(dǎo)軌直線度，轉(zhuǎn)臺軸向，相互垂直度，徑向跳動等。

中圖儀器SJ6000激光干涉儀測量系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測，結(jié)合軟件系統(tǒng)，可以用于速度，加速度，振動分析以及穩(wěn)定度等分析，實(shí)時監(jiān)控精密加工機(jī)床等機(jī)器的動態(tài)數(shù)據(jù)，進(jìn)行動態(tài)特性分析。