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中圖儀器探針式臺(tái)階儀品牌NS系列主要在材料研發(fā)、工藝優(yōu)化與質(zhì)量管控中，測(cè)量臺(tái)階高度（納米至1050μm）、表面粗糙度（Ra、Rz等參數(shù)）、膜層厚度及應(yīng)力分布。

NS系列抗蝕劑臺(tái)階高度儀（搭載LVDC線性可變差動(dòng)電容傳感器）以亞埃級(jí)分辨率檢測(cè)抗蝕劑材料，一站式解決批量檢測(cè)效率低、數(shù)據(jù)偏差大、適配性不足等行業(yè)痛點(diǎn)。

NS系列納米臺(tái)階高度測(cè)量?jī)x應(yīng)用場(chǎng)景適應(yīng)性強(qiáng)，其對(duì)被測(cè)樣品的反射率特性、材料種類(lèi)及硬度等均無(wú)特殊要求，可測(cè)量沉積薄膜的臺(tái)階高度、抗蝕劑（軟膜材料）的臺(tái)階高度等。

NS系列納米級(jí)薄膜臺(tái)階儀采用了線性可變差動(dòng)電容傳感器LVDC，具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級(jí)的分辨率，同時(shí)，其集成了超低噪聲信號(hào)采集、超精細(xì)運(yùn)動(dòng)控制、標(biāo)定算法等核心技術(shù)，使得儀器具備超高的測(cè)量精度和測(cè)量重復(fù)性。

NS系列國(guó)產(chǎn)探針式臺(tái)階儀應(yīng)用場(chǎng)景適應(yīng)性強(qiáng)，其對(duì)被測(cè)樣品的反射率特性、材料種類(lèi)及硬度等均無(wú)特殊要求，可測(cè)量沉積薄膜的臺(tái)階高度、抗蝕劑（軟膜材料）的臺(tái)階高度等。

中圖儀器臺(tái)階儀器臺(tái)階高度重復(fù)性能低于5A，Z0向測(cè)量量程可到1050um。最高垂直分辨率可達(dá)亞埃米級(jí)，且垂直方向動(dòng)態(tài)比率高，可以獲取表面輪廓形貌、粗糙度、波紋度、形狀誤差及其它一些形貌特征等綜合信息。